physikalische Gasphasenabscheidung
- physikalische Gasphasenabscheidung
- fizikinis garinis nusodinimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. physical vapor deposition
vok. physikalische Gasphasenabscheidung, f
rus. физическое осаждение из паровой фазы, n
pranc. déposition physique en phase vapeur, f; dépôt physique en phase vapeur, m
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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